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半導體外延檢測

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型號：Bruker Dimension ICON

主要參數:XY方向掃描范圍90um*90um,垂直方向掃描范圍10um，樣品尺寸可以達直徑210mm，厚度15mm，可持續穩定得到原子級分辨率，智能掃描功能

用途及功能：表面形貌（粗糙度）、成分分析、具備接觸、輕敲、peakkforce等多種模式成形貌相，摩擦力圖像、定量相位圖像、表面局域電場力、磁場力、表面電勢以及導電性、電場力及磁力圖像、表面電勢可分辨表面兩點電勢差絕對值、分辨率10Mv,導電原子力顯微鏡（CAFM）可測量I/V曲線，表征表面局域導電性

模塊功能附件: PFM EFM MAM CAFM

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