清華大學無錫應(yīng)用技術(shù)研究院集成電路創(chuàng)新服務(wù)平臺
F20透射電鏡
最大放大： 105萬倍 (1,050,000×)
點分辨率： 0.24 nm
加速電壓： 200KV
極限(信息)分辨率：0.14 nm
最小束斑尺寸：0.2nm
樣品臺： 普通單、雙傾臺，鈹雙傾臺
最大傾轉(zhuǎn)角：±40°
X射線能譜儀元素分析范圍：B5～U92
X射線能譜儀能量分辨率: 130 eV
Tecnai G2 F20 S-TWIN 透射電子顯微鏡是一個真正多功能、多用戶環(huán)境的200KV場發(fā)射透射電子顯微鏡。它將各種透射電鏡技術(shù)（包括TEM、SEAD、STEM、EDX頻譜成像等）方便靈活地有機組合，形成強大的分析功能。利用它可進行：（1）形貌分析，它獲得非晶材料的質(zhì)厚襯度像，多晶材料的衍射襯度像和單晶薄膜的相位襯度像(原子像)；（2）結(jié)構(gòu)分析，觀察研究材料結(jié)構(gòu)并對樣品進行納米尺度的微分析，如：高分辨電子顯微觀察，系列欠焦像分析及出射波函數(shù)重構(gòu)、電子衍射，會聚束電子衍射，納米束衍射、Z-襯度（原子序數(shù)）成像等。成分分析：小到幾個納米尺度的微區(qū)或晶粒的成分分析。
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