清華大學無錫應用技術研究院集成電路創新服務平臺
英國Prescott公司 Reho-line Mini-MDR lite
模腔配置 非密封
振蕩頻率 1.67 HZ
可用溫度范圍 室溫至250攝氏度
溫度控制 數字式 PID控制
震蕩幅度：0.5°
彈性扭矩；粘性扭矩 ；損耗角正切值；硫化速率；
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