清華大學(xué)無錫應(yīng)用技術(shù)研究院集成電路創(chuàng)新服務(wù)平臺
主要技術(shù)參數(shù)：
分辨率 0.8nm @ 15 KV
放大倍數(shù) 12 – 2000000 X
加速電壓 0.02 – 30 KV
探針電流 5 PA – 20 nA
樣品室 330mm * 270mm
樣品臺 5軸中心全自動
用途及功能:
用于觀察、分析和記錄樣品的微觀形貌,可測陰極發(fā)光CL、EBSD
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