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GATAN第二代精密刻蝕鍍膜儀（PECS Ⅱ）

GATAN第二代精密刻蝕鍍膜儀（PECS Ⅱ）是一款桌面型寬束氬離子拋光、鍍膜及膜厚測量設備。對于同一個樣品，可在同一真空環境下完成拋光及鍍膜。設備采用兩個寬束氬離子源對樣品表面進行拋光，去除損傷層，從而得到高質量樣品。用于SEM、光鏡或者掃描探針顯微鏡進行成像。