清華大學無錫應用技術研究院集成電路創新服務平臺
1、對銅制程器件有很好的開封效果，良率高于90%。
2、對環境及人體污染傷害較小，符合環保理念。
3、開封效率是普通酸開封機臺的3~5倍。
4、電腦控制開封形狀、位置、大小、時間等，操作便利。
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