清華大學無錫應用技術研究院集成電路創新服務平臺
MJB4紫外光刻機
技術參數：
汞燈光源：350W，350nm~450nm；
掩模板尺寸：5英寸x5英寸；
晶片尺寸：最大4英寸，向下兼容；
接觸方式：真空、低真空接觸, 硬接觸，軟接觸和接近式；
對準方式：全手動正面對準，紅外光及CCD反面對準；
最小線寬：0.8μm；
對準精度: ±0.5μm。
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