欧美丝袜丝交足nylons视频I136国产福利在线导航I99精品毛片I91极品国产I亚洲老司机网I精品jizzI亚洲天堂成人Iwww日韩I亚洲男女天堂综合I538在线精品一区I内射无码专区久久亚洲I国产午夜一级毛片I夜夜看avI亚洲无码内射人妻I91在线短视频Ixxxx网站I欧美123区I24小时日本视频

網(wǎng)站首頁 > 測試服務(wù) > 微納加工

ELS-F125電子束曝光

世界上第一個125kv光刻系統(tǒng)具有大的場寫入均勻性和精細的圖案寫入能力，例如5nm或更小的線寬，這充分利用了我們多年來在開發(fā)光刻系統(tǒng)方面積累的豐富經(jīng)驗。

發(fā)射器氧化鋯/鎢熱場發(fā)射器

加速電壓 125kv、75kv、25kv

最小束斑尺寸 φ1.7nm(@125kv)

最小線寬 5nm或更小(@125kv)

射束電流 5 pA to 100 nA

寫場范圍 Max3000umX3000um, Min100umX100um

波束定位 Max1000000 x 1000000(20bit DAC)

波束定位分辨率 Min0.1nm

最大樣本大小 8" wafer or 8" square mask